清華大學(xué)研制出同位素純硅外延片
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上傳人：未知 上傳時(shí)間： 2004-09-10 瀏覽次數(shù)： 53 |
據(jù)了解，目前用于半導(dǎo)體集成電路制造的硅片均由天然硅制成。而根據(jù)中子數(shù)的不同，天然硅又可進(jìn)一步分為硅-28(約占92%)、硅-29(約占5%)和硅-30，此次獲得的是同位素純硅-28，其含量大于99%。由于同位素純硅的微觀結(jié)構(gòu)比天然硅更加整齊，所以在半導(dǎo)體制造過程中更能顯示出優(yōu)越的特性。
據(jù)專家介紹，利用硅-28制成的半導(dǎo)體器件可望有更好的散熱性、更快的速度，并可承受更高的功率。因?yàn)楣?28沒有核自旋，這樣的硅片在量子計(jì)算研究、新型傳感器以及換能器研究中具有重要價(jià)值。
另據(jù)了解，國際上在這方面的研究剛剛開始，清華大學(xué)研制出的同位素純硅外延片在國內(nèi)尚屬首次。
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