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藍光LED節(jié)能效益驚人細節(jié)揭秘

2015-08-12 作者: 來源:新興產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略智庫 瀏覽量: 網(wǎng)友評論: 0

摘要: 本文追溯了氮化鎵材料和藍色發(fā)光二極管的發(fā)展歷史,回顧了重要的歷史事件。III 簇氮化物是直接帶隙半導(dǎo)體材料,發(fā)光范圍紫外到紅外,覆蓋整個可見光區(qū),是理想的光電器件材料。同時,具有優(yōu)越的物理性質(zhì),在高溫、高能、高頻微波器件以及高壓電子電力器件都有廣泛的應(yīng)用。


  隨后,赤崎研制的MIS 型藍色LED開始樣品供貨。在Gan研究取得突破的前夜,1981年赤崎離開松下技研到名古屋大學(xué)擔(dān)任教授。名古屋大學(xué)素以堅持學(xué)術(shù)自由而著稱。為支持赤崎勇開展化合物半導(dǎo)體研究,名古屋大學(xué)專門建造了一間超凈實驗室。為回報名古屋大學(xué),赤崎勇將研究室變成了一座“不夜城”。從此,這里成為赤崎研發(fā)Gan藍色發(fā)光器件的中心舞臺。

  當(dāng)時最尖端的MOCVD裝置不但價格昂貴,高達數(shù)千萬日元,而且沒有用于生長Gan的商用設(shè)備。赤崎研究室每年的研究經(jīng)費約為300萬日元,捉襟見肘,他們只能自己動手,靠購買零部件,利用舊的加熱用振蕩器,企業(yè)捐贈的60cm的石英管等組裝完成了MOCVD裝置,但優(yōu)質(zhì)Gan薄膜的生長并不順利。1983年天野浩從名古屋大學(xué)工學(xué)部本科畢業(yè)后,幸運成為赤崎勇的碩士研究生。在兩年的時間里,除了新年這天,天野不分晝夜,每天都在做GaN生長實驗。對襯底溫度、反應(yīng)室真空度、反應(yīng)氣體流量、生長時間等條件反復(fù)進行調(diào)整,做了1500多次實驗,但依然沒有生長出好的Gan薄膜。

  借助了MOCVD和藍寶石襯底還是沒有成功,一直困擾赤崎的難題依然沒有解決。他開始意識到: 藍寶石襯底與Gan晶體之間的晶格常數(shù)失配,相差高達16%,熱膨脹系數(shù)也相差較大,這是造成晶體質(zhì)量差的原因。他想到了以前在GaAsp和GaAs襯底上異質(zhì)外延GaInAsp時采用過的緩沖層方法。

  “為了解決晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)失配造成的困難,我覺得需要在藍寶石襯底與Gan之間插入某種柔性的極薄緩沖層,而此中間層材料的特性最好與藍寶石或Gan相似?!俺嗥檫x中了AlN、GaN、SiC 和ZnO 四種材料,因為從1965年開始就研究Aln的晶體生長和光學(xué)特性,他對Aln最為熟悉。所以,最先開始了用Aln作為緩沖層材料的實驗。

  1985年的一天,如同往常生長Gan一樣,天野把MOCVD的爐內(nèi)溫度提高到1000℃ 以上的生長溫度。這時,碰巧爐子出了問題,溫度只達到700 ~800℃左右,無法生長Gan薄膜。但此時天野的腦海里冒出了“加入Al也許能提高晶體質(zhì)量”的念頭。于是,天野在藍寶石襯底上試著生長Aln薄膜。在這一過程中爐子恢復(fù)了正常,天野又將爐溫提高到1000℃繼續(xù)生長Gan薄膜。后來樣品經(jīng)顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)生長出了均勻的Gan薄膜。歪打正著成就了低溫生長Aln緩沖層技術(shù),這是發(fā)明藍光LED的突破性技術(shù)之一,此成果于1986年發(fā)表在應(yīng)用物理快報上,天野為第一作者,赤崎名列第三。

  無巧不成書,另一項重大突破———p型Gan摻雜的實現(xiàn)也是偶然被天野所發(fā)現(xiàn)。

  生長出優(yōu)質(zhì)Gan薄膜后,他們自然把重點放在了p型摻雜的研究上。天野選擇鋅( Zn) 和鎂( Mg)作為受主,摻雜到Gan薄膜中,但嘗試了多次始終沒有實現(xiàn)p型摻雜。當(dāng)時正在攻讀博士的天野去NTT 進行了為期1 個月左右的實習(xí),他用電子顯微鏡觀察摻Zn的Gan薄膜表面,意外發(fā)現(xiàn)在反復(fù)的量測后樣品發(fā)出了極為微弱的熒光。天野認(rèn)為摻Zn的Gan薄膜的導(dǎo)電特性發(fā)生了變化,可是經(jīng)過測量,發(fā)現(xiàn)并沒有形成p型。就在天野覺得Gan薄膜可能真的無法實現(xiàn)p摻雜而決定放棄時,他看到了一本教科書,書中說Mg 是比Zn更容易實現(xiàn)p型的受主。于是,天野把Gan薄膜中摻雜的受主由Zn換成Mg,再次進行電子顯微鏡觀察。果然,摻Mg 的Gan薄膜變成了p型。赤崎勇教授與天野浩如獲至寶,將其發(fā)現(xiàn)發(fā)表在日本應(yīng)用物理期刊上,并提出了一套物理機制來解釋他們的發(fā)現(xiàn),認(rèn)為是低能電子束輻照( LEEBI) 的作用實現(xiàn)了GaN: Mg 薄膜的p型導(dǎo)電。現(xiàn)在我們知道當(dāng)初師生倆所提出的物理機制是錯誤的,但此發(fā)現(xiàn)卻造成了科學(xué)界的轟動。Gan的p型摻雜成為發(fā)明藍光LED的另一項重大突破。正可謂: 眾里尋他千百度,驀然回首,那人卻在燈火闌珊處。

  赤崎和天野的研究小組很快于1989年在全球首次研制出了p-n結(jié)藍色LED。

  同時,就在Gan藍光LED探索發(fā)展的關(guān)鍵時期,中村修二以一匹黑馬的姿態(tài)躍上舞臺。他憑著“作別人不做的題目才有最大的發(fā)展機會”的想法,選擇研究氮化鎵。在上世紀(jì)80年代初很少人關(guān)注氮化鎵,作此選擇無異于一場豪賭。中村修二自1979年加入日亞化工,這是一個一切以產(chǎn)品銷售為導(dǎo)向的小公司。身為小技術(shù)員,默默無聞的中村在地下室獨自一人悄悄搗騰藍光二極管。他在研究上的突破不被重視,被稱為“吃白飯的”,“上司每次見到我都會說,你怎么還沒有辭職? 把我氣得發(fā)抖?!敝写寤貞浀?。經(jīng)過數(shù)年努力,中村于1992年第一次利用了InGan/Gan周期量子阱結(jié)構(gòu),取代了傳統(tǒng)的p-i-n結(jié)構(gòu),大幅度地提高了藍光LED的發(fā)光效率。

  他還發(fā)展了外延技術(shù),用低溫生長的薄層Gan替換Aln作為緩沖層。同時中村等人為了解開p型Gan的謎團做了一系列的實驗,發(fā)現(xiàn)電子束對于p型激活的作用只可能來自于熱激活和高能電子的轟擊兩種因素。因此,他們將GaN: Mg 樣品放入700℃以上的N2和NH3氣氛下退火,實驗發(fā)現(xiàn)都成功實現(xiàn)穩(wěn)定的p型GaN。證明熱處理( 退火) 能有效激活摻雜的Mg 受主。至此,p型Gan的難題得以突破。

  在1993年實現(xiàn)了藍光LED的量產(chǎn)。所以,中村對發(fā)明藍光LED和使其走出實驗室,走進千家萬戶都做出重要貢獻,并且他在相當(dāng)長的一段時間里引領(lǐng)著Gan基LED和LD的研究。

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