1引言

　　近年來，氮化鎵基發(fā)光二極管迅猛發(fā)展，它具有高亮度、低能耗、長壽命的優(yōu)良特點，是發(fā)展固態(tài)照明技術(shù)的關(guān)鍵元器件。目前在GaN基LED中，氧化銦錫由于其高電導率和高透光率，已成為LED生產(chǎn)工藝中透明導電薄膜的主要材料。

　　然后ITO在使用過程中也存在一些缺點，包括：

　　1、銦源材料的價格持續(xù)上漲，ITO變得日以昂貴，并且制備方法費用高昂;

　　2、ITO薄膜的柔韌性比較差，彎曲時容易破碎和斷裂，限制了器件的應用范圍;

　　3、ITO對酸性環(huán)境敏感;

　　4、ITO盡管在可見光區(qū)域有高達85%的透射率，但是在紫光區(qū)域有很強的光吸收，光透射率降低到40%一下，導致紫外LED的光提取效率大幅度降低。研究表明，ITO的透射率在紫外波段從80%下降至約10%。

　　石墨烯自2004年由英國曼徹斯特大學首次成功制備并報道后，以其新奇的結(jié)構(gòu)和性能引起了科學家的廣泛關(guān)注。石墨烯獨特的二維平面結(jié)構(gòu)賦予了它優(yōu)良的力學、熱血、電學、光學性質(zhì)。研究表明，石墨烯具有良好的機械性能，楊氏模量約為1000GPa，載流子遷移率達到2100000每平方厘米/V·S，熱導率約為5000W/m`k。從紫外到近紅外范圍內(nèi)具有高達97%的透射率，同事，自然界碳元素豐富，原料成本不到ITO的1%，且無毒無害，環(huán)境友好。