摘要：隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,光學(xué)薄膜及相關(guān)技術(shù)不論從廣度還是深度來(lái)看都得到了顯著發(fā)展,并逐漸滲透到現(xiàn)代技術(shù)和高端技術(shù)等領(lǐng)域。對(duì)光學(xué)薄膜的3種制備技術(shù):物理氣相學(xué)沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)和化學(xué)液相沉積(CLD)進(jìn)行了分析。綜述了幾種新型光學(xué)薄膜(金剛石薄膜及類金剛石薄膜、軟X射線多層膜、太陽(yáng)能選擇性吸收膜、高強(qiáng)度激光膜)的研究進(jìn)展以及光學(xué)薄膜的應(yīng)用情況。

　　光學(xué)薄膜技術(shù)是一門交叉性很強(qiáng)的學(xué)科,它涉及到光電技術(shù)、真空技術(shù)、材料科學(xué)、精密機(jī)械制造、計(jì)算機(jī)技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)等領(lǐng)域。光學(xué)薄膜是一類重要的光學(xué)元件,它廣泛地應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、光電子學(xué)、光學(xué)工程以及其他相關(guān)的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[1]。它不僅能改善系統(tǒng)性能(如減反、濾波

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　　1、光學(xué)薄膜制備技術(shù)

　　2、光學(xué)薄膜的研究新進(jìn)展

　　3、光學(xué)薄膜的應(yīng)用

　　4、結(jié)束語(yǔ)

　　4 結(jié)束語(yǔ)

　　近年來(lái)，作為特殊材料形態(tài)的光學(xué)與光電子薄膜已廣泛滲透到各個(gè)新興的科技領(lǐng)域。引人注目的光折射薄膜、光子探測(cè)薄膜、薄膜光子晶體、量子點(diǎn)薄膜、納米或亞波長(zhǎng)尺度的多維結(jié)構(gòu)、高電光系數(shù)的鐵電非線性薄膜、傳感功能薄膜、高密度體記錄薄膜和有機(jī)顯示薄膜等，其各種特異性能的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用都與光學(xué)薄膜的特性相關(guān)。

　　目前，我國(guó)的光學(xué)與光電子產(chǎn)業(yè)得到迅猛發(fā)展，在設(shè)備的提升和產(chǎn)業(yè)隊(duì)伍的建設(shè)方面取得了不小的進(jìn)步，在制備技術(shù)、膜系設(shè)計(jì)、工藝控制、特性測(cè)試和應(yīng)用開(kāi)發(fā)等方面都開(kāi)展了卓有成效的工作，取得了廣泛的研究成果，同時(shí)形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模[13]。光學(xué)薄膜技術(shù)是激光技術(shù)、紅外技術(shù)及航天等高科技所需的關(guān)鍵技術(shù)，沒(méi)有薄膜技術(shù)和光學(xué)薄膜的發(fā)展，就沒(méi)有現(xiàn)代技術(shù)和尖端技術(shù)的發(fā)展。