專為半導(dǎo)體和相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供制程控制與成品率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商KLA-Tencor公司推出了其最新LED晶圓檢測機(jī)臺WI 2280。WI 2280的推出使得LED制造商能夠在當(dāng)前的基礎(chǔ)上，繼續(xù)降低檢測成本，同時(shí)檢測的靈活性與效率也得到了進(jìn)一步的提升。

　　據(jù)悉，此次KLA-Tencor公司推出的新檢測機(jī)臺是作為下一代LED印刷(LED patterned)晶片檢查儀器，該機(jī)臺完全適用于LED晶圓的缺陷檢測與LED應(yīng)用程序進(jìn)行2D度量(2D metrology)。在另一方面，WI 2280相對于上一代機(jī)臺而言，其檢測能力也相應(yīng)提高，適用于現(xiàn)如今半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)2英寸至8英寸的晶片檢測。

　　同時(shí)，WI 2280還會對晶圓缺陷進(jìn)行自動分類，并為操作人員提供最佳的解決途徑。這就讓LED制造商能在最短的時(shí)間內(nèi)，最大化得提升自身產(chǎn)品的良率及生產(chǎn)效率，并且WI 2280不間斷地對工藝過程進(jìn)行監(jiān)控以確保安全運(yùn)營。

　　KLA-Tencor增長和新興市場部門(GEM)集團(tuán)副總裁Jeff Donnelly對此表示，當(dāng)前的LED企業(yè)越來越需要檢測技術(shù)的提高來幫助他們實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的提升，同時(shí)檢測的準(zhǔn)確度也是十分重要的，這對于提高產(chǎn)品的良率至關(guān)重要。

　　Donnelly進(jìn)一步指出，ICOS WI 2280的發(fā)布對迎合了LED市場的現(xiàn)實(shí)需求，最終會幫助LED廠商提高每瓦的流明輸出和產(chǎn)品性能上的飛躍。我們也將繼續(xù)努力，不斷提升我們的ICOS產(chǎn)品線的水平，以滿足LED市場的未來需求。

　　據(jù)介紹，WI 2280搭載了靈活先進(jìn)的光學(xué)模式與專業(yè)的圖像處理系統(tǒng)，其晶圓缺陷的高捕捉率并針對不同的工藝背景有自己的對應(yīng)模式。另外一個值得注意的是，新機(jī)臺能對不同的缺陷作出判斷分析，并為工程師提供最佳解決方案。

　　另外，WI 2280還具有從前端工藝制造到后端檢測上的連續(xù)性，并且提供一個單一的缺陷分析平臺。KLA-Tencor公司相關(guān)人員介紹，WI 2280在在線與離線狀態(tài)下都能簡單得對重新分類進(jìn)行操作。

　　除了LED應(yīng)用領(lǐng)域之外，半導(dǎo)體電子元器件廠商和功率設(shè)備市場也能利用ICOS WI 2280作質(zhì)量檢測，對前端印刷圖案晶片作檢查改進(jìn)或進(jìn)行工藝控制。最后，ICOS WI 2280能與KLA-Tencor的Candela LED無印刷晶圓檢測系統(tǒng)聯(lián)合配套使用。