璨圓光電將安裝愛思強(qiáng)新款19x4英寸的CRIUS? II-XL反應(yīng)器
摘要: 臺(tái)灣的璨圓光電股份有限公司所添置的CRIUS? II-XL反應(yīng)器會(huì)用于量產(chǎn)基于InGaN材料的高亮度藍(lán)光LED外延片制造。愛思強(qiáng)當(dāng)?shù)氐募夹g(shù)支持團(tuán)隊(duì)將會(huì)在該公司位于臺(tái)灣的技術(shù)先進(jìn)的廠房進(jìn)行新反應(yīng)器的安裝和調(diào)試。
愛思強(qiáng)股份有限公司宣布,臺(tái)灣的璨圓光電股份有限公司將安裝19x4英寸規(guī)格的CRIUS® II-XL反應(yīng)器。此訂單於2011年第三季度接獲,原為CRIUS® II-L型號(hào),但在愛思強(qiáng)推出全新XL規(guī)格后隨即轉(zhuǎn)換為這款新機(jī)型。愛思強(qiáng)將在2011年第四季度交付新型的反應(yīng)器。
所添置的CRIUS® II-XL反應(yīng)器會(huì)用于量產(chǎn)基于InGaN材料的高亮度藍(lán)光LED外延片制造。愛思強(qiáng)當(dāng)?shù)氐募夹g(shù)支持團(tuán)隊(duì)將會(huì)在該公司位于臺(tái)灣的技術(shù)先進(jìn)的廠房進(jìn)行新反應(yīng)器的安裝和調(diào)試。
璨圓光電董事長簡奉任博士表示:“購買這種可生產(chǎn)四英寸晶圓的噴淋頭系統(tǒng),代表璨圓光電發(fā)展的一個(gè)里程碑。最初,我們一直考慮采用CRIUS® II-L作為我們實(shí)施下一階段擴(kuò)展計(jì)劃的備選工具。在最近推出XL型號(hào)的反應(yīng)器后,我們對(duì)這款19x4英寸規(guī)格反應(yīng)器的性能深感滿意。鑒于我們長期良好的合作關(guān)系,璨圓光電的技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)愛思強(qiáng)的技術(shù)和服務(wù)均十分信賴,因此我們將迅速與愛思強(qiáng)展開緊密合作,以確保這系統(tǒng)在各方面皆成功。”
愛思強(qiáng)的首席運(yùn)營官Bernd Schulte博士補(bǔ)充道:“CRIUS® II-XL系統(tǒng)能達(dá)到世界最高的產(chǎn)量和生產(chǎn)效率,是愛思強(qiáng)享負(fù)盛名的CRIUS®系列產(chǎn)品的最新出品。CRIUS® II的任何現(xiàn)有制程都能順利地轉(zhuǎn)換至CRIUS® II-XL反應(yīng)器。從一個(gè)晶片規(guī)格轉(zhuǎn)換至另一個(gè)規(guī)格僅需要更換底板,而無需作出進(jìn)一步的硬件或程序調(diào)整。這些特性能很好地幫助晶片制造商嚴(yán)格控制InGaN LED的生產(chǎn)成本。”
璨圓光電創(chuàng)立於1999年11月,為高亮度InGaN LED外延和芯片的專業(yè)制造商。目前,該公司市場涵括臺(tái)灣、韓國、香港、美國和中國等,可提供高亮度InGaN藍(lán)光、綠光和紫外光LED等的全頻譜LED產(chǎn)品。
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