2011年6月11日，“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術(shù)與工藝和外延設(shè)備和材料”專題分會(huì)在廣州琶洲展館B區(qū)8號(hào)會(huì)議廳南廳舉行。來(lái)自北方微電子LED事業(yè)部的副總經(jīng)理劉利堅(jiān)發(fā)表了《大規(guī)模LED芯片量產(chǎn)工藝設(shè)備的發(fā)展與挑戰(zhàn)》的專題演講。

　　首先劉經(jīng)理簡(jiǎn)單介紹了北方微電子LED設(shè)備產(chǎn)品的概況，其中ICP系列產(chǎn)品已經(jīng)成為了眾多廠家的首選刻蝕設(shè)備，更加強(qiáng)調(diào)了ELEDETM330設(shè)備的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)——大產(chǎn)能設(shè)計(jì)與優(yōu)異的工藝性能。

　　接著，劉經(jīng)理重點(diǎn)講解了北方微電子一個(gè)非常重要的增值部分——工藝控制系統(tǒng)APC電子軟件。當(dāng)前，在LED量產(chǎn)過(guò)程中存在的問(wèn)題之一就是最終產(chǎn)量出現(xiàn)不合格品。而諸多廠家對(duì)此的解決方法就是對(duì)各個(gè)工序和重點(diǎn)設(shè)備進(jìn)行費(fèi)時(shí)費(fèi)力的逐一排查。為達(dá)到控制最終產(chǎn)品質(zhì)量能滿足要求這一目的，北方微電子開發(fā)了APC軟件。

　　APC軟件主要包括三大功能模塊，并據(jù)此建立自動(dòng)預(yù)警機(jī)制：

　　1、 數(shù)據(jù)管理。對(duì)單臺(tái)/多臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集、顯示、存儲(chǔ)、導(dǎo)入導(dǎo)出和歷史數(shù)據(jù)查詢的功能;

　　2、 統(tǒng)計(jì)控制。統(tǒng)計(jì)過(guò)程監(jiān)控(當(dāng)值與數(shù)據(jù)的共同監(jiān)測(cè)，更利于發(fā)現(xiàn)異常、及時(shí)預(yù)警)，離線質(zhì)量分析，匯總統(tǒng)計(jì)報(bào)表(使數(shù)據(jù)可視化);

　　3、 故障診斷?？刂颇Ｐ凸芾?根據(jù)不同的標(biāo)準(zhǔn)值做出模型進(jìn)行變量分析)，在線故障分析，離線故障分析，故障信息報(bào)表。

　　APC軟件的其他特點(diǎn)還包括：可據(jù)不同支持、設(shè)備設(shè)置靈活的系統(tǒng)架構(gòu);可定制對(duì)外數(shù)據(jù)接口;可內(nèi)嵌進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備，如設(shè)備ELEDETM330。