日本的TOKKI試制出了與美國(guó)GE(General Electric)的中央研究所——GE全球研究中心(GE Global Research)共同開(kāi)發(fā)的有機(jī)EL組件電漿CVD(化學(xué)氣相沉積)薄膜封裝設(shè)備，并通過(guò)樣品確認(rèn)了封裝性能。該公司計(jì)劃通過(guò)提高生產(chǎn)效率，在08年內(nèi)量產(chǎn)該設(shè)備。與目前的玻璃封裝法相比，薄膜封裝法除了可減少部材和設(shè)備數(shù)量外，還可應(yīng)用于柔性面板。TOKKI預(yù)定在10月24日起在PACIFICO橫濱舉行的“FPD International 2007”展會(huì)上進(jìn)行樣品展示。

　　此次開(kāi)發(fā)的設(shè)備支持TOKKI在其它有機(jī)EL制造設(shè)備中使用的第4代玻璃底板(底板尺寸為730mm×920mm)。采用200mm見(jiàn)方的玻璃底板進(jìn)行了技術(shù)驗(yàn)證。首先在玻璃底板上形成由透明的ITO電極夾住的約1cm見(jiàn)方的Alq3有機(jī)EL層，然后在有機(jī)EL層上堆積厚度為微米級(jí)的薄膜封裝膜封裝。

　　封裝膜由GE全球研究中心開(kāi)發(fā)，通過(guò)層迭多層有機(jī)物層和無(wú)機(jī)物層形成阻隔(Barrier)膜，封裝有機(jī)EL層以阻隔濕氣或氣體等，防止發(fā)光層出現(xiàn)老化。在連續(xù)改變有機(jī)物層和無(wú)機(jī)物層的組成的同時(shí)形成薄膜。因此，層間的密著性較高，可防止將來(lái)柔性化時(shí)發(fā)生破裂(Cracking)等。氣體阻隔性為10-6g/m2•天。

　　采用薄膜封裝技術(shù)，除了無(wú)需封裝用玻璃、粘合劑和干燥劑等外，還可實(shí)現(xiàn)玻璃封裝無(wú)法達(dá)到的薄型化。另外，目前的封裝技術(shù)需要洗凈封裝用玻璃和抽出真空氣體等約5道制程、以及各個(gè)制程間的設(shè)備自動(dòng)搬運(yùn)，而薄膜封裝技術(shù)只需追加真空腔(Vacuum Chamber)這一道制程即可。與原來(lái)的玻璃封裝制程相比，“有望將設(shè)備價(jià)格降低一半”(TOKKI經(jīng)營(yíng)企畫部部長(zhǎng)大新田 納)。

　　在兩公司共同開(kāi)發(fā)的第二階段，將考慮通過(guò)縮短加工時(shí)間、加大底板尺寸來(lái)提高生產(chǎn)效率。“首先將瞄準(zhǔn)有機(jī)EL面板”(大新田 納)，計(jì)劃在將來(lái)把薄膜封裝技術(shù)應(yīng)用于柔性有機(jī)EL面板和有機(jī)EL照明設(shè)備。TOKKI和GE于07年1月宣布，兩公司將圍繞有機(jī)EL薄膜封裝技術(shù)的實(shí)用化，開(kāi)展為期一年的共同開(kāi)發(fā)。（編輯：PCL）