Veeco推出MOCVD新系統(tǒng)
摘要: 2007年10月9日,Veeco宣布推出生產(chǎn)紅、橙、黃(ROY)高亮(HB)LED和多結(jié)III-V聚光太陽能電池(主要用于太空)用TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系統(tǒng)。
2007年10月9日,Veeco宣布推出生產(chǎn)紅、橙、黃(ROY)高亮(HB)LED和多結(jié)III-V聚光太陽能電池(主要用于太空)用TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系統(tǒng)。
Veeco MOCVD部總經(jīng)理Piero Sferlazzo評(píng)價(jià)道:“TurboDisc E450具有穩(wěn)定量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)ROY LED和多結(jié)太陽能電池的生產(chǎn)能力,是這些應(yīng)用的暢銷工具。而現(xiàn)在,憑借著下一代E475,Veeco將繼續(xù)推動(dòng)MOCVD技術(shù)在量產(chǎn)高亮LED和III-V聚光太陽能電池方面的發(fā)展。與E450相比,E475的產(chǎn)能提高了15%,維護(hù)成本也得到了改進(jìn)??蛻艨梢赃x擇購買新E475或在現(xiàn)有的E450工具基礎(chǔ)上升級(jí),進(jìn)一步提高投資回報(bào)。”
Veeco的TurboDisc As/P MOCVD可降低生產(chǎn)ROY HB-LED、LD、PHEMT、HBT的維護(hù)成本。依Piero Sferlazzo所言,他們的系統(tǒng)可提供其他競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品無可比擬的生產(chǎn)控制和穩(wěn)定性。這些技術(shù)先進(jìn)的MOCVD系統(tǒng)以Veeco的integrated RealTemp(R)200技術(shù)為主要特色,直接晶圓溫度控制、快速氣體切換及真空進(jìn)料自動(dòng)化使其擁有出眾的材料質(zhì)量和生產(chǎn)效率。(編輯:PCL)
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