“廣州增城發(fā)布”消息，3月26日，中微公司競得增城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)核心區(qū)一宗工業(yè)用地，宣布計(jì)劃長期投資30億元，建設(shè)公司華南總部及產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)基地，面向大平板顯示設(shè)備，并將延伸到其他大平板類微觀加工技術(shù)，如智能玻璃、板級封裝等新興領(lǐng)域。

　　此次落地項(xiàng)目總規(guī)劃130畝，其中一期規(guī)劃用地50畝，一期總投資約10億元，計(jì)劃今年上半年動(dòng)工，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)值不低于10億元。

圖片來源：廣州增城發(fā)布

　　資料顯示，中微公司主營等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、MOCVD設(shè)備等高端半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體設(shè)備。業(yè)績快報(bào)顯示，2024年公司營業(yè)收入達(dá)90.65億元，其中MOCVD設(shè)備銷售約3.79億元，LPCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)首臺銷售，全年設(shè)備銷售額約1.56億元。

　　對于營收增長的原因，中微公司表示，刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備作為半導(dǎo)體前道關(guān)鍵核心設(shè)備，市場空間廣闊，技術(shù)壁壘較高。公司產(chǎn)品在芯片制造關(guān)鍵工藝中的應(yīng)用持續(xù)擴(kuò)大，客戶認(rèn)可度不斷提升，高端產(chǎn)品的出貨量及銷售額顯著增長。

　　2024年，中微公司LPCVD薄膜設(shè)備累計(jì)出貨量突破100個(gè)反應(yīng)臺，多款新型設(shè)備已獲重復(fù)訂單。此外，EPI設(shè)備進(jìn)入量產(chǎn)驗(yàn)證階段，MOCVD設(shè)備在Micro LED和高端顯示領(lǐng)域取得進(jìn)展，并加速布局碳化硅和氮化鎵功率器件市場。

　　在項(xiàng)目推進(jìn)方面，2024年9月6日，南昌中微公司簽約GaAs基紅黃光LED應(yīng)用的MOCVD設(shè)備開發(fā)項(xiàng)目，研發(fā)成果將優(yōu)先用于Micro LED的產(chǎn)業(yè)化需求。目前，南昌14萬平方米及上海臨港18萬平方米的生產(chǎn)研發(fā)基地已投入使用。

　　今年1月，中微公司還宣布擬投資30.5億元設(shè)立全資子公司——中微半導(dǎo)體設(shè)備（成都）有限公司，推進(jìn)西南總部及研發(fā)生產(chǎn)基地建設(shè)，以拓展集成電路設(shè)備業(yè)務(wù)范圍并增強(qiáng)技術(shù)研發(fā)能力。