昨(19)日，普萊思半導體(Plessey)發(fā)布新聞稿宣布，公司已購買愛思強(AIXTRON )的AIX G5+ C有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)反應器。此前，公司已向愛思強訂購了一個反應器。

　　普萊思致力于采用硅基氮化鎵外延片生產(chǎn)下一代Micro LED應用，而愛思強的MOCVD反應器將增強其硅基氮化鎵外延片的制造能力。公司擬在2019年第一季度期間將此反應器安裝在其位于英國普利茅斯(Plymouth)的制造工廠(27萬平方公尺)并投入使用。

　　新的愛思強反應器提供自動卡匣式(C2C)晶圓傳輸模塊晶片傳送模塊，具備兩個獨立的腔體配置選項，可實現(xiàn)8x6英寸或5x8英寸硅基氮化鎵外延片在封閉的卡匣環(huán)境中的自動加載與移除。而普萊思現(xiàn)有的愛思強MOCVD反應器則可人工加載7x6英寸或3x8英寸外延片。

　　新反應器的自動化清潔技術能夠確保設備在每次運行時都處于清潔狀態(tài)，有助于降低晶圓缺陷率并大幅減少維修停工時間。此外，新設備還具有更快的傾斜升溫與冷卻以及高的基座卸載溫度，從而縮短配方時間。

　　普萊思表示，AIX G5+ C反應器能夠增強基于公司專有硅基氮化鎵技術的單片Micro LED的研發(fā)能力。公司的Micro LED具備極低功耗、高亮度與超高像素密度等特點，將對使用LCD和OLED等傳統(tǒng)技術的現(xiàn)有應用領域帶來潛在的沖擊。

　　普萊思旨在成為開發(fā)創(chuàng)新顯示引擎和全磁場自發(fā)光Micro LED顯示器的全球領導照明商。該設備結合了超高密度RGB像素陣列與高性能互補金屬氧化物半導體(CMOS)背板，具有高亮度、低功耗及高幀頻圖像源等特點，可用于AR/VR系統(tǒng)的頭戴式顯示器和穿戴式電子設備。