宜特IC電路除錯技術(shù)突破,完成28奈米最小線寬修改
摘要: 隨摩爾定律的腳步,半導體市場在2012年將會正式跨入28奈米製程世代。走在市場前端的宜特今宣佈,宜特至2010年已開始佈局,2011年與知名IC設計大廠合作,歷經(jīng)研究測試,2012年正式突破技術(shù)門檻,不僅替客戶完成難度極高的28奈米最小線寬修改,且電路除錯能力更深入至IC最底層(Metal 1)。
隨摩爾定律的腳步,半導體市場在2012年將會正式跨入28奈米製程世代。走在市場前端的宜特今宣佈,宜特至2010年已開始佈局,2011年與知名IC設計大廠合作,歷經(jīng)研究測試,2012年正式突破技術(shù)門檻,不僅替客戶完成難度極高的28奈米最小線寬修改,且電路除錯能力更深入至IC最底層(Metal 1)。
宜特觀察發(fā)現(xiàn),28奈米是現(xiàn)今市場上各大廠欲跨入的製程,此製程可為IC產(chǎn)品帶來更高的效能,更低的能耗,與更輕薄短小的尺寸,相當符合現(xiàn)今行動裝置的需求,因此許多大廠紛紛導入。
晶圓代工龍頭臺積電在2011底率先量產(chǎn)28奈米製程產(chǎn)品,并預估今年28奈米製程產(chǎn)品將達到整體營收的10%。市佔率居次的聯(lián)電近期也傳出接獲數(shù)間大廠的28奈米訂單,進入試產(chǎn)階段。緊追在后的叁星電子及格羅方德(Global foundries),也各自有其在先進製程上的佈局。
不過,28奈米製程亦有技術(shù)上的挑戰(zhàn)。宜特科技可靠度與FIB工程處副總經(jīng)理崔革文表示,28奈米在設計與佈局上的復雜度大幅升高,并且很難有一套通用的可製造性設計(Design for manufacture,DFM)模型來確保設計與佈局的正確性,將導致IC設計業(yè)者須進行更為頻繁的光罩改版,增加時間成本與金錢成本的負擔,一套28奈米光罩要價近2億臺幣,是40奈米的好幾倍,往來重新下光罩亦需一個多月。
因此,許多業(yè)者採FIB(Focused ion beam,聚焦離子束)線路修改技術(shù),藉此省去光罩改版的時間與金錢成本。崔革文說:「FIB在28奈米產(chǎn)品的除錯與驗證上勢必將扮演更為重要的角色。」
FIB工程處經(jīng)理 許如宏表示,早在2010年,宜特即展開28奈米IC線路修改的研究與佈局,針對最底層(Metal 1)的極小線路作修改測試,并從極小間距中,研究如何設定正確參數(shù)將訊號引出,還可利用獨有的低阻值連線技術(shù)(宜特已有中華民國專利),克服過大阻值易造成高頻訊號的延遲與失真,目前在各個環(huán)節(jié)上均已完成驗證,技術(shù)能量已可滿足現(xiàn)今所有先進製程產(chǎn)品的除錯與驗證需求。
許如宏進一步指出,工欲善其事,必先利其器,宜特除了擁有技術(shù)外,亦在這兩年,建造完成國內(nèi)唯一同時擁有可勝任40奈米與28奈米線路修改的實驗室,除了一般的Front-side FIB技術(shù)外,亦可支援Back-side FIB線路修改技術(shù)。
Back-side FIB其塬理是從IC晶片的背面(即硅基材端)來進行線路修改,該相關(guān)技術(shù)近年來受到高度矚目,其需求亦日益趨多。特別在連線密度與I/O數(shù)都特別高的28奈米製程上,由于需要更多層的金屬連線與更高比例的覆晶封裝(Flip Chip)形式,也因此,使用Back-side FIB線路修改將成為未來主流。
關(guān)于宜特科技
始創(chuàng)于1994年,宜特科技從 IC 線路除錯及修改起步,逐年拓展新服務,包括故障分析、可靠度驗證、材料分析與品質(zhì)保證等,建構(gòu)完整驗證與分析工程平臺與全方位服務??蛻艄爣依穗娮赢a(chǎn)業(yè)上游 IC 設計至中下游成品端。隨著綠色環(huán)保意識抬頭,宜特不僅專注核心服務,并關(guān)注國際趨勢拓展多元性服務,建置無鉛與無鹵可靠度驗證、化學定量分析與碳足跡溫室氣體盤查服務,順利取得多項國際知名且具公信力的機構(gòu) ─ 德國 TUV NORD 與英國 BSI 認證。同時在國際大廠的外包趨勢下,宜特科技也扮演品牌公司委外製造產(chǎn)品的獨立品質(zhì)驗證第叁公證實驗室,取得 Motorola、Dell、Cisco與Delphi的可靠度驗證資格。進一步資訊請至公司網(wǎng)站http://www.istgroup.com 查詢。
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