2011年，在國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)規(guī)劃和產(chǎn)業(yè)升級的推動下，我國LED上游外延片、芯片制造業(yè)迎來了新一輪的投資高潮。LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展為設(shè)備企業(yè)帶來更多的發(fā)展機遇，作為國產(chǎn)高端LED設(shè)備制造商的代表，北方微電子(NMC)憑借其過硬的技術(shù)基礎(chǔ)和本地化的服務優(yōu)勢，在產(chǎn)業(yè)的快速成長中取得了驕人的成績。北方微電子(NMC)開發(fā)的ELEDE 330等離子刻蝕機作為我國首臺直接面向LED生產(chǎn)線的大產(chǎn)能ICP刻蝕設(shè)備于2010年首次進入市場，通過多家生產(chǎn)線驗證，其優(yōu)秀工藝性能、較高生產(chǎn)能力和競爭力的價格，贏得了眾多客戶的認可和好評。

ELEDE™ 330 LED刻蝕機

　　今年上半年，該設(shè)備先后實現(xiàn)了對上海藍光、大連路美、江門真明麗、普吉光電、同方光電等多家生產(chǎn)線的銷售，尤其是獲得了東莞中鎵半導體、上海藍光等廠商的二次批量采購訂單。北方微電子作為國產(chǎn)LED設(shè)備企業(yè)的代表正在通過不懈的努力，逐步打破國外高端設(shè)備的壟斷局面，推動我國LED產(chǎn)業(yè)鏈的健康發(fā)展。

　　6月9日，2011年世界最大照明展暨LED展期間，記者有幸邀請到北方微電子(NMC)總裁趙晉榮先生做客新聞直播室，暢談企業(yè)及行業(yè)發(fā)展。

　　瞄準高新產(chǎn)業(yè)需求，才能把握產(chǎn)業(yè)脈搏

　　記者：我們看到NMC在集成電路、光伏、LED三者的市場都有所為，為什么選擇不同的領(lǐng)域全面介入?在這三個方面在技術(shù)上有什么不同?

　　趙晉榮：集成電路、光伏產(chǎn)業(yè)和LED是我國近年快速發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，并同屬我國戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)范疇。在核心技術(shù)方面，光伏和LED與集成電路領(lǐng)域有一定的相似性，在生產(chǎn)流程和工藝設(shè)備方面也有很多互通性。北方微電子作為我國首家將高端集成電路工藝設(shè)備應用于大生產(chǎn)線的本土設(shè)備供應商，很早就開始關(guān)注代表綠色能源和節(jié)能環(huán)保的光伏和LED領(lǐng)域，將先進的集成電路設(shè)備技術(shù)應用于這兩個產(chǎn)業(yè)，開發(fā)了適用于大規(guī)模LED生產(chǎn)線使用的ICP刻蝕機和晶硅太陽能電池平板式PECVD設(shè)備，填補了這兩個領(lǐng)域高端設(shè)備未能國產(chǎn)化的空白。

　　對于集成電路產(chǎn)業(yè)，雖然我國近十年來取得了長足進步，但由于該產(chǎn)業(yè)國內(nèi)外還存在著若干個技術(shù)代的差距，中國要趕超擁有頂尖產(chǎn)品和技術(shù)的國際企業(yè)還需要很長時間。但對于太陽能產(chǎn)業(yè)，我國雖起步較晚，但伴隨關(guān)鍵技術(shù)的攻克和制造能力的不斷提升，短短幾年已經(jīng)躍居世界前列。與此類似，我國LED產(chǎn)業(yè)在技術(shù)和工藝上目前雖和國外有一些差距，但相信憑借制造業(yè)的綜合優(yōu)勢，在幾年內(nèi)達到世界先進水平是有可能的。

　　LED產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新應該是全產(chǎn)業(yè)鏈的創(chuàng)新

　　記者：目前，國內(nèi)LED領(lǐng)域設(shè)備幾乎被國外廠商所壟斷，國內(nèi)技術(shù)平臺上，刻蝕機有哪些技術(shù)瓶頸?今年NMC推出的這個LED ICP等離子刻蝕機，對于國內(nèi)LED生產(chǎn)企業(yè)有什么意義?

　　趙晉榮：在刻蝕機技術(shù)上，北方微電子通過集成電路領(lǐng)域多年的技術(shù)積累和市場驗證，已經(jīng)實現(xiàn)了技術(shù)突破，是國內(nèi)第一家進入納米級設(shè)備生產(chǎn)制造的廠家，LED刻蝕機經(jīng)過多家生產(chǎn)線的驗證，其技術(shù)指標和生產(chǎn)能力，都達到了國際先進水平。我們認為，一個產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新應該是全產(chǎn)業(yè)鏈的創(chuàng)新，或者是在全產(chǎn)業(yè)鏈的基礎(chǔ)上才可能相互促進不斷發(fā)展。像日本的IT大廠，自身就擁有非常強的裝備和材料研制能力，因此工藝創(chuàng)新非常快。在中國，設(shè)備是從國外買來的定型產(chǎn)品，因此工藝無法實現(xiàn)特制化，新的想法很難通過設(shè)備的改進而實現(xiàn)。中國的LED產(chǎn)業(yè)要實現(xiàn)技術(shù)的趕超，必須要在工藝和設(shè)備上走在世界的前列。北方微電子推出的ELEDETM330刻蝕機，就可以為LED芯片制造企業(yè)創(chuàng)造這種開發(fā)環(huán)境，不管是什么樣的圖形，憑借北方微電子刻蝕工藝技術(shù)，我們可以提供全套的解決方案，讓客戶將想法變成現(xiàn)實。LED產(chǎn)業(yè)要想領(lǐng)先，中國設(shè)備能力必須站在國際的同等水平上，北方微電子作為本土高端微電子裝備制造企業(yè)，有責任也有能力為我國LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造這個條件。

　　服務的本地化與專利“游戲規(guī)則”

　　記者：NMC的刻蝕技術(shù)，在國內(nèi)是領(lǐng)先的，產(chǎn)品優(yōu)勢在哪里?國際大環(huán)境下，如何解決專利和核心技術(shù)問題的?

　　趙晉榮：在技術(shù)和生產(chǎn)水平已經(jīng)實現(xiàn)突破的基礎(chǔ)上，國產(chǎn)設(shè)備最明顯的優(yōu)勢體現(xiàn)在服務上。任何一臺復雜的設(shè)備安裝之后都不可能不出問題，出了問題之后就要維修，維修服務的成本，國內(nèi)和國外是不一樣的。由于時間和成本的差異，決定本土設(shè)備有競爭優(yōu)勢。面對設(shè)備使用中的一些技術(shù)問題，國內(nèi)是產(chǎn)品的設(shè)計者和客戶見面，解決問題的速度非?？欤覟榭蛻籼峁┝可矶ㄗ雠嘤柡图夹g(shù)升級服務。

　　在專利方面，和集成電路領(lǐng)域相似。專利是一個戰(zhàn)略，也是一個游戲規(guī)則。因此專利并不是那么可怕，熟悉規(guī)則去保護自己是關(guān)鍵。北方微電子很早就對涉及領(lǐng)域的產(chǎn)品進行了全面的戰(zhàn)略分析，公司目前已申請的專利有500多項，其中300多項得到了授權(quán)，為我們的設(shè)備及配套的工藝技術(shù)提供了良好的技術(shù)保護和市場環(huán)境。

　　LED設(shè)備的國產(chǎn)化需要與芯片企業(yè)的生產(chǎn)合作

　　記者：在LED生產(chǎn)中，MOCVD備受關(guān)注，您對MOCVD的國產(chǎn)化怎么看?

　　趙晉榮：MOCVD外延工藝及設(shè)備是整個LED產(chǎn)業(yè)鏈的命脈，決定了整個產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，其開發(fā)技術(shù)難度最大，需要大量的資金密集投入。作為一臺工藝設(shè)備，MOCVD與半導體工藝設(shè)備有許多相似之處，因而可以充分利用國內(nèi)開發(fā)半導體設(shè)備的平臺，通過引進國際先進MOCVD專家和技術(shù)，同時利用國內(nèi)研究單位在外延工藝積累的經(jīng)驗，去實現(xiàn)MOCVD裝備國產(chǎn)化。在這個進程中，最大的難度是工藝上的考核，設(shè)備廠跟芯片企業(yè)如何結(jié)合起來，或者是和基礎(chǔ)研究機構(gòu)結(jié)合起來是非常重要的。

　　MOCVD的國產(chǎn)化面臨較大的技術(shù)挑戰(zhàn)和大量的資金投入，建議MOCVD裝備國產(chǎn)化作為國家的一個戰(zhàn)略性項目開展，需要國家在政策上加大對設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的扶持力度。

　　記者：LED產(chǎn)業(yè)設(shè)備的國產(chǎn)化之路障礙在哪里?您覺得LED產(chǎn)業(yè)要突破國外的壟斷，真正實現(xiàn)裝備國產(chǎn)、本土化，應該怎么做?

　　趙晉榮：設(shè)備國產(chǎn)化和制造技術(shù)進步是一個相輔相成的過程。芯片制造廠對設(shè)備有需求，才會有很多設(shè)備廠圍繞著芯片廠的需求去做設(shè)計和開發(fā)，設(shè)備做出來之后也能促進芯片廠的發(fā)展。太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展就是明顯的例子，電池片廠一開始依賴進口設(shè)備，為滿足生產(chǎn)和技術(shù)需求國產(chǎn)設(shè)備逐漸進入市場，這些設(shè)備企業(yè)發(fā)展成熟后又促進了更多制造企業(yè)的建立和發(fā)展。對于LED產(chǎn)業(yè)，芯片制造企業(yè)的信任和設(shè)備企業(yè)的責任是推動設(shè)備國產(chǎn)化的關(guān)鍵，芯片廠對國產(chǎn)設(shè)備給予信任和扶持，為設(shè)備企業(yè)提供進入市場的機會和產(chǎn)品改進環(huán)境;設(shè)備企業(yè)以滿足客戶不斷提升的技術(shù)需求和降低制造成本為己任，強化產(chǎn)品性能和服務水平，最終形成產(chǎn)業(yè)鏈上下游的緊密合作和相互促進，打破國外設(shè)備和技術(shù)的壟斷，最終形成我國LED產(chǎn)業(yè)的競爭優(yōu)勢。